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A violação de direitos autorais é passível de sanções civis e penais.
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Coleção Digital
Título: PROPRIEDADES ESTRUTURAIS, MECÂNICAS E TRIBOLÓGICAS DE FILMES DE TIB2 E TI-B-N DEPOSITADOS POR EROSÃO CATÓDICA Autor: CARLOS MANUEL SANCHEZ TASAYCO
Instituição: PONTIFÍCIA UNIVERSIDADE CATÓLICA DO RIO DE JANEIRO - PUC-RIO
Colaborador(es):
FERNANDO LAZARO FREIRE JUNIOR - ORIENTADOR
Nº do Conteudo: 10020
Catalogação: 04/06/2007 Liberação: 04/06/2007 Idioma(s): PORTUGUÊS - BRASIL
Tipo: TEXTO Subtipo: TESE
Natureza: PUBLICAÇÃO ACADÊMICA
Nota: Todos os dados constantes dos documentos são de inteira responsabilidade de seus autores. Os dados utilizados nas descrições dos documentos estão em conformidade com os sistemas da administração da PUC-Rio.
Referência [pt]: https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/colecao.php?strSecao=resultado&nrSeq=10020&idi=1
Referência [en]: https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/colecao.php?strSecao=resultado&nrSeq=10020&idi=2
Referência DOI: https://doi.org/10.17771/PUCRio.acad.10020
Resumo:
Título: PROPRIEDADES ESTRUTURAIS, MECÂNICAS E TRIBOLÓGICAS DE FILMES DE TIB2 E TI-B-N DEPOSITADOS POR EROSÃO CATÓDICA Autor: CARLOS MANUEL SANCHEZ TASAYCO
Nº do Conteudo: 10020
Catalogação: 04/06/2007 Liberação: 04/06/2007 Idioma(s): PORTUGUÊS - BRASIL
Tipo: TEXTO Subtipo: TESE
Natureza: PUBLICAÇÃO ACADÊMICA
Nota: Todos os dados constantes dos documentos são de inteira responsabilidade de seus autores. Os dados utilizados nas descrições dos documentos estão em conformidade com os sistemas da administração da PUC-Rio.
Referência [pt]: https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/colecao.php?strSecao=resultado&nrSeq=10020&idi=1
Referência [en]: https://www.maxwell.vrac.puc-rio.br/colecao.php?strSecao=resultado&nrSeq=10020&idi=2
Referência DOI: https://doi.org/10.17771/PUCRio.acad.10020
Resumo:
O presente trabalho teve como objetivo central o estudo
das modificações
nas propriedades estruturais, mecânicas e tribológicas
causadas pela
incorporação de nitrogênio em filmes de diborato de
titânio (TiB2) crescidos pela
técnica de erosão catódica assistida por um campo
magnético. Os revestimentos
de Ti-B-N com diferentes conteúdos de nitrogênio foram
depositados em
substratos de silício cristalino (100) a partir da erosão
de um alvo de diborato de
titânio mediante o uso da técnica de erosão catódica em
uma atmosfera de
argônio e nitrogênio e com tensões de polarização variando
entre +100V e -
100V. Os efeitos do conteúdo de nitrogênio e a influência
da tensão de
polarização na estrutura e no comportamento tribológico
foram investigados com
o uso da técnica nuclear de retroespalhamento Rutherford
(RBS),
espectroscopia de fotoelétrons induzida por raios-x (XPS),
difração por raios-x
(XRD), perfilometria (medidas de tensão interna),
microscopia de força atômica
(AFM) e de ângulo de contato. Os resultados do presente
trabalho mostraram
que a incorporação de nitrogênio produz filmes com tensões
internas cada vez
mais compressivas. No entanto a mudança da tensão de
autopolarização a
valores positivos provocou uma relaxação na tensão
interna. Nesses casos, foi
observada uma melhor adesão dos filmes aos substratos de
silício. Os
resultados de XPS mostraram que as fases, TiB2, BN e TiN,
estão presentes nos
filmes de Ti-B-N e a caracterização por XRD determinou a
estrutura
nanocristalina desses revestimentos. Medidas de AFM
indicaram valores de
rugosidade superficial entre 1 e 2nm.
Descrição | Arquivo |
CAPA, AGRADECIMENTOS, RESUMO, ABSTRACT, SUMÁRIO E LISTAS | |
CAPÍTULO 1 | |
CAPÍTULO 2 | |
CAPÍTULO 3 | |
CAPÍTULO 4 | |
CAPÍTULO 5 | |
CAPÍTULO 6 | |
REFERÊNCIAS BIBLIOGRÁFICAS |