Título: | SYNTHESIS AND STRUCTURAL, MECHANICAL AND TRIBOLOGICAL CHARACTERIZATION OF THIN FILMS DEPOSITED BY PECVD FROM ORGANOSILICON | ||
Autor(es): |
NEILETH JOHANNA STAND FIGUEROA |
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Orientador (es) : |
MARCELO EDUARDO HUGUENIN MAIA DA COSTA |
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Instituição: | PUC-RIO - PONTIFÍCIA UNIVERSIDADE CATÓLICA DO RIO DE JANEIRO | ||
Programa: | GRADUATE PROGRAM IN PHYSICS | ||
Área: | THEORETICAL CONDENSED MATTER PHYSICS | ||
Banca: |
DANTE FERREIRA FRANCESCHINI FILHO - UFF SERGIO ALVARO DE SOUZA CAMARGO JUNIOR - UFRJ MARCELO EDUARDO HUGUENIN MAIA DA COSTA - PUC-RIO FERNANDO LAZARO FREIRE JUNIOR - PUC-RIO JUAN LUCAS NACHEZ - UFF |
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Vocabulário: | HMDS HMDSN HMDSO MECHANICAL PROPERTY PECVD STRUCTURAL PROPERTIES THIN FILMS TRIBOLOGICAL PROPERTIES |
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Apresentação: | 24/MAI/2019 | ||
Aceitação: | 24/MAI/2019 | ||
Sistema de Biblioteca: | PONTIFÍCIA UNIVERSIDADE CATÓLICA DO RIO DE JANEIRO-SISTEMA PERGAMUM | ||
Número de Chamada: |