ETDs @PUC-Rio
| Título: | STRUCTURAL AND MECHANICAL PROPERTIES OF THIN FILMS DEPOSITED FROM HEXAMETHYLDISILAZANE BY PECVD | ||
| Autor(es): |
NEILETH JOHANNA STAND FIGUEROA |
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| Orientador (es) : |
MARCELO EDUARDO HUGUENIN MAIA DA COSTA |
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| Instituição: | PUC-RIO - PONTIFÍCIA UNIVERSIDADE CATÓLICA DO RIO DE JANEIRO | ||
| Programa: | GRADUATE PROGRAM IN PHYSICS | ||
| Área: | THEORETICAL CONDENSED MATTER PHYSICS | ||
| Banca: |
MARCELO EDUARDO HUGUENIN MAIA DA COSTA - PUC-RIO ERIKA ABIGAIL OCHOA BECERRA - PUC-RIO CARLOS ALEJANDRO FIGUEROA - UCS |
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| Vocabulário: | HEXAMETHYLDISILAZANE MECHANICAL PROPERTY PECVD STRUCTURAL PROPERTIES THIN FILMS |
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| Apresentação: | 08/SET/2014 | ||
| Aceitação: | 08/SET/2014 | ||